熱解器模組

專為劇毒或電化學惰性氣體設計

Py-ReX 是 D-ReX PoS 氣體探測器的附加模組，透過內建泵進行抽取氣體檢測。當與 Py-ReX 搭配使用時，D-ReX 能夠檢測毒性過高或化學性質過於惰性而無法直接測量的氣體。

熱解器的應用

Py-ReX 熱解技術擴展了半導體製造中的氣體檢測能力，有助於提升品質標準並優化製程。對於無法直接測量的高毒性或電化學惰性氣體，熱解器是關鍵設備。Py-ReX 安裝於採樣點與探測器之間，使待測氣體經過熱解後，再由 D-ReX 內部感測器進行分析。

熱解原理

Py-ReX 採用細絲熱解技術，將原始氣體（目標氣體）分解為可測量的氣體（被測氣體），再透過探測器感測其濃度，進而推算出目標氣體的濃度。
其運作方式如下：

1. 加熱細絲：石英玻璃管內的細絲被加熱至特定溫度，根據不同氣體需求進行調整。
2. 氣體分解：當目標氣體接觸細絲時，發生熱解反應，轉化為可測氣體。
3. 氣體測量：轉化後的氣體進入 D-ReX PoS，由內建電化學感測器進行測量。

可測量氣體範圍

Py-ReX 主要用於測量半導體製造及其他工業過程中的氟基惰性氣體，也可檢測部分非氟基惰性氣體，例如 1,2-二氯乙烯（DCE）。若您的需求氣體未列於清單內，歡迎聯繫我們評估可行性。
可測氣體示例：

• C₂H₂Cl₂（1,2-二氯乙烯, DCE）
• C₄F₆ 系列（六氟丁二烯）
• C₅F₈ 系列（八氟環戊烯）
• CH₃F（氟甲烷）
• NF₃（三氟化氮）
• SF₆（六氟化硫）

設備特點

• 熱解技術：細絲熱解
• 通信接口：4-20 mA
• 狀態指示：2 個彩色 LED
• 安裝方式：DIN 導軌（TS35）
• 最大管道長度：30m
• 加熱電流監控：D-ReX PoS 內建
• 可選功能：線路完整性監控（D-ReX PoS）

Py-ReX 讓氣體探測更精準、更廣泛，為半導體與工業製程提供更安全的環境監測方案。